Number of the records: 1
Preparation and properties of amorphous SiC thin films prepared by PECVD technology
Title Preparation and properties of amorphous SiC thin films prepared by PECVD technology Author Huran Jozef 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Co-authors Hotový I. Šafránková Jaroslava SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kobzev A.P. Source document . P. 699 EUROSENSORS XI : proceedings of the 11th European Conference on Solid-State Transducers. - Warsaw, 1997 Language eng - English Country PL - Poland Document kind rozpis článkov z periodík (rzb) Category AEE - Scientific papers in foreign non peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) O2 - Odborný výstup publikačnej činnosti ako časť knižnej publikácie alebo zborníka Type of document príspevok Year 1997 
article
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 1997
Number of the records: 1