Plasma immersion oxygen ion implantation to amorphous silicon

Number of the records: 1

Title	Plasma immersion oxygen ion implantation to amorphous silicon
Author	Záhoran M. 1956 Pinčík Emil SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV ^ORCID
	1954 Brunner Róbert SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV
	1954- Jergel Matej SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
	Falcony C.
	1955 Gmucová Katarína SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV ^SCOPUS ^ORCID
	Mráz S.
	Holúbek Tomáš SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV

Co-authors	Juráni R.
Source document	Proceedings "Symposium on Application of Plasma Processes XIV-SAPP XIV", Liptovský Mikuláš 13.-18.1.2003. P. 109-112 / Šutta P. ; Mullerová J. ; 1954 Brunner Róbert
Language	eng - English
Country	SK - Slovak Republic
Document kind	rozpis článkov z periodík (rzb)
Category	AFC - Published papers from foreign scientific conferences
Year	2003

article

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
0

Number of the records: 1