Number of the records: 1
Thermal stability of ruthenium MOS gate electrodes
Title Thermal stability of ruthenium MOS gate electrodes Author Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Co-authors Čičo Karol SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lupták Roman SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hušeková Kristína 1957 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Harmatha L. Hooker J.C. Roozeboom F. Source document . S. 167-170 ASDAM 2004 : conference proceeding of the Fifth International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. Smolenice Castle, Slovakia October 17-21, 2004. - Piscataway : IEEE, 2004 / Osvald Jozef 1953 ; Haščík Štefan 1956 Language eng - English Country US - United States of America Document kind rozpis článkov z kníh (kapitoly) Category AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2004 
article
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2004
Number of the records: 1