Number of the records: 1
Electrical properties of Pt/TiO2/TiN structures grown by atomic layer deposition using TTIP and water
Title Electrical properties of Pt/TiO2/TiN structures grown by atomic layer deposition using TTIP and water Author Horský Matej SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Nádaždy Peter SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Gregušová Dagmar 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Seifertová Alena 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dérer Ján 1948 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Source document ASDAM 2022 : Conference Proceedings. P. 37-40. - : IEEE, 2022 / Marek Juraj ; Donoval D. ; Vavrinský E. ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Language eng - English Country US - United States of America Document kind rozpis článkov z periodík (rzb) Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok z podujatia Year 2022 article
File name Access Size Downloaded Type License Electrical properties of PtTiO2Pt and PtTiO2TiN structures grown by.pdf Neprístupný/archív 1.3 MB 1 Publisher's version rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2022
Number of the records: 1