Number of the records: 1
Mechanically fixed and thermally insulated micromechanical structures for GaAs heterostructure based MEMS devices
Title Mechanically fixed and thermally insulated micromechanical structures for GaAs heterostructure based MEMS devices Author 1951 Lalinský Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors 1956 Haščík Štefan SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Mozolová Želmíra SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Burian Eduard Krnáč Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Tomáška M. Škriniarová Jaroslava Držík Milan SAVSTAV - Ústav stavebníctva a architektúry SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Source document . Vol. 20 (2003), p. 43-47 Microelectronics International Language eng - English Country NL - Netherlands Document kind rozpis článkov z periodík (rbx) Category ADC Year 2003 
article
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2003
Number of the records: 1