Mechanically fixed and thermally isolated micromechanical structures for GaAs heterostructure based MEMS devices

Number of the records: 1

Title	Mechanically fixed and thermally isolated micromechanical structures for GaAs heterostructure based MEMS devices
Author	Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
Co-authors	Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Mozolová Želmíra SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Burian Eduard SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Tomáška M.
	Krnáč Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Škriniarová Jaroslava
	Držík Milan SAVSTAV - Ústav stavebníctva a architektúry SAV
	Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
	Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID

Source document	Proceedings of the 2002 International Symposium on Microelectronics. P. 87-92 / Drehle J.R.. - Denver : IMAPS, 2002
Language	eng - English
Country	US - United States of America
Document kind	rozpis článkov z periodík (rzb)
Category	ADMB - Scientific papers in foreign non-impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus
Category of document (from 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Type of document	príspevok
Year	2002
Registered in	WOS
Registered in	SCOPUS

article

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2002

Number of the records: 1