Number of the records: 1
2-D thermo-mechanical simulation of the membrane MEMS components
Title 2-D thermo-mechanical simulation of the membrane MEMS components Author Chlpík J. Co-authors Držík Milan SAVSTAV - Ústav stavebníctva a architektúry SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document . P. 319-322 ASDAM 2004 : conference proceeding of the Fifth International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. Smolenice Castle, Slovakia October 17-21, 2004. - Piscataway : IEEE, 2004 / Osvald Jozef 1953 ; Haščík Štefan 1956 Language eng - English Country US - United States of America Document kind rozpis článkov z periodík (rzb) Category AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2004 article
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2004
Number of the records: 1