Number of the records: 1
Overenie postupov pri priamej elektrónovej litografii s využitím justážnych značiek na čipe
Title Overenie postupov pri priamej elektrónovej litografii s využitím justážnych značiek na čipe Author Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Issue data Bratislava : Ústav informatiky SAV , 2007 Language slo - Slovak Country SK - Slovak Republic Note Práce popísané v tejto spáve boli vykonané s podporou grantu VEGA 2/6184/26 a čiastočne Centra excelencie SAV CEPI. Document kind správy výskumné Project Technická správa ÚI SAV, TR-2007-25-01 - december 2007 - VEGA 2/6184/26 Category AGI - Reports on solved scientific and research tasks Year 2007 book
Number of the records: 1