Number of the records: 1
A wide-angle X-ray scattering laboratory setup for tracking phase changes of thin films in a chemical vapor deposition chamber
Title A wide-angle X-ray scattering laboratory setup for tracking phase changes of thin films in a chemical vapor deposition chamber Author Végso Karol 1984 SAVFYZIK ; SAVCEMEA - Fyzikálny ústav SAV Co-authors Shaji Ashin 1991 SAVMAMES - Ústav materiálov a mechaniky strojov SAV ORCID Sojková Michaela 1980 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Pribusová Slušná Lenka SAVELEK ; SAVCEMEA - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Vojteková Tatiana SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hrdá Jana SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Halahovets Yuriy 1982- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Hulman Martin 1967 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV SCOPUS RID ORCID Majková Eva 1950 SAVFYZIK ; SAVCEMEA - Fyzikálny ústav SAV ORCID Wiesmann J. Šiffalovič Peter 1975 SAVFYZIK ; SAVCEMEA - Fyzikálny ústav SAV ORCID Source document Review of Scientific Instruments. Vol. 93, no. 11 (2022), no. 113909 Language eng - English Country US - United States of America Document kind rozpis článkov z periodík (rbx) Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2022 Registered in WOS Registered in SCOPUS Registered in CCC DOI 10.1063/5.0104673 
article
File name Access Size Downloaded Type License A wide-angle X-ray scattering laboratory setup for tracking phase changes of thin films in a chemical vapor deposition chamber_2022.pdf Neprístupný/archív 4.9 MB 0 Publisher's version rok CC IF IF Q (best) JCR Av Jour IF Perc SJR SJR Q (best) CiteScore A rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2022 2021 1.843 Q3 0.606 Q2
Number of the records: 1