Silicon trench etching multifrequency discharge reactor

Number of the records: 1

Title	Silicon trench etching multifrequency discharge reactor
Author	Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
Co-authors	Horniaková Anna
	Huran Jozef 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID

Source document	Vacuum. Vol. 45, (1994), p. 915
Language	eng - English
Country	UK
Document kind	rozpis článkov z periodík (rbx)
Keywords	elektrotechnika slaboprúdová
Category	ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted)
Category of document (from 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Type of document	článok
Year	1994

article

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	A

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
1994

Number of the records: 1