Number of the records: 1
Leakage characteristics of advanced MOS capacitors with hafnium silicate dielectric and Ru electrode
Title Leakage characteristics of advanced MOS capacitors with hafnium silicate dielectric and Ru electrode Author Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Co-authors Hušeková Kristína 1957 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Roozeboom F. Source document ASDAM 2006. P. 21-24 : proceedings of the 6th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. - Piscataway : IEEE, 2006 / Breza J. ; Donoval D. ; Vavrinský E. Language eng - English Country SK - Slovak Republic Document kind rozpis článkov z periodík (rzb) Category AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2006 
article
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2006
Number of the records: 1