Role of heat accumulation in the multi-shot damage of silicon irradiated with femtosecond XUV pulses at a 1 MHz repetition rate

Sobierajski Ryszard

Jacyna Iwanna

Dlužewski Piotr

Klepka Marcin T.

Klinger Dorota

Pelka Jerzy B.

Burian Tomáš

Hájková V.

Juha Libor

Saksl Karel 1974 SAVMATVY - Ústav materiálového výskumu SAV

   ^SCOPUS

   ^ORCID

Vozda Vojtěch

Makhotkin Igor

Louis Eric

Faatz Bart

Tiedtke Kai

Toleikis Sven

Enkisch Hartmut

Hermann M.

Strobel Sebastian

Loch Rolf A.