Number of the records: 1
Processing technology of MEMS sensors using III-N material system
Title Processing technology of MEMS sensors using III-N material system Author Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Co-authors Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vojs M. Vincze A. Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Source document / Michalka M. ; Vincze A. ; Veselý M. 17. škola vákuovej techniky : analýza materiálov vo vákuu. Material analysis in vacuum. P. 39-43. - Bratislava : FEI STU, 2014 Language slo - Slovak Document kind rozpis článkov z periodík (rzb) Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Year 2014 
article
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2014
Number of the records: 1