MEMS pressure sensor fabricated by advanced bulk micromachining techniques

Number of the records: 1

Title	MEMS pressure sensor fabricated by advanced bulk micromachining techniques
Author	Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
Co-authors	Hudek Peter 1953- ^SCOPUS ^RID ^ORCID
	Zehetner J.
	Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Choleva P.
	Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV

Source document	Proceedings of the SPIE. Vol. 8763, (2013), p. 8763-101
Language	eng - English
Document kind	rozpis článkov z periodík (rbx)
Category	ADMB - Scientific papers in foreign non-impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus
Category of document (from 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Type of document	článok
Year	2013
Registered in	WOS
Registered in	SCOPUS
DOI	10.1117/12.2017499

article

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	N

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2013	2012			0.238

Number of the records: 1