Number of the records: 1
Etching of GaAs in a multi-frequency discharge reactor
Title Etching of GaAs in a multi-frequency discharge reactor Author Horniaková Anna SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Huran Jozef 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document Physica Status Solidi A. Vol. 136, (1993), p. 93 Language eng - English Country BR - Brazil Document kind rozpis článkov z periodík (rbx) Keywords GaAs * elektrotechnika slaboprúdová Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 1993 article
rok CC IF IF Q (best) JCR Av Jour IF Perc SJR SJR Q (best) CiteScore A rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 1993
Number of the records: 1