Number of the records: 1
Silicon trench etching multifrequency discharge reactor
Title Silicon trench etching multifrequency discharge reactor Author Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Horniaková Anna Huran Jozef 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Source document Vacuum. Vol. 45, (1994), p. 915 Language eng - English Country UK Document kind rozpis článkov z periodík (rbx) Keywords elektrotechnika slaboprúdová Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 1994 article
rok CC IF IF Q (best) JCR Av Jour IF Perc SJR SJR Q (best) CiteScore A rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 1994
Number of the records: 1