Number of the records: 1
Mechanically fixed and thermally isolated micromechanical structures for GaAs heterostructure based MEMS devices
Title Mechanically fixed and thermally isolated micromechanical structures for GaAs heterostructure based MEMS devices Author Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Mozolová Želmíra SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Burian Eduard SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Tomáška M. Krnáč Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Škriniarová Jaroslava Držík Milan SAVSTAV - Ústav stavebníctva a architektúry SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Source document Proceedings of the 2002 International Symposium on Microelectronics. P. 87-92 / Drehle J.R.. - Denver : IMAPS, 2002 Language eng - English Country US - United States of America Document kind rozpis článkov z periodík (rzb) Category ADMB - Scientific papers in foreign non-impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2002 Registered in WOS Registered in SCOPUS article
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2002
Number of the records: 1