Number of the records: 1
Plasma immersion oxygen ion implantation to amorphous silicon
Title Plasma immersion oxygen ion implantation to amorphous silicon Author Záhoran M. 1956 Pinčík Emil SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV ORCID 1954 Brunner Róbert SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV 1954- Jergel Matej SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV SCOPUS RID ORCID Falcony C. 1955 Gmucová Katarína SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV SCOPUS ORCID Mráz S. Holúbek Tomáš SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Co-authors Juráni R. Source document Proceedings "Symposium on Application of Plasma Processes XIV-SAPP XIV", Liptovský Mikuláš 13.-18.1.2003. P. 109-112 / Šutta P. ; Mullerová J. ; 1954 Brunner Róbert Language eng - English Country SK - Slovak Republic Document kind rozpis článkov z periodík (rzb) Category AFC - Published papers from foreign scientific conferences Year 2003 article
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 0
Number of the records: 1