Number of the records: 1
MEMS pressure sensor fabricated by advanced bulk micromachining techniques
Title MEMS pressure sensor fabricated by advanced bulk micromachining techniques Author Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ORCID Co-authors Hudek Peter 1953- SCOPUS RID ORCID Zehetner J. Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Choleva P. Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document Proceedings of the SPIE. Vol. 8763, (2013), p. 8763-101 Language eng - English Document kind rozpis článkov z periodík (rbx) Category ADMB - Scientific papers in foreign non-impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2013 Registered in WOS Registered in SCOPUS DOI 10.1117/12.2017499 article
rok CC IF IF Q (best) JCR Av Jour IF Perc SJR SJR Q (best) CiteScore N rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2013 2012 0.238
Number of the records: 1