Fabrication of low resistivity titanium nitride thin films by reactive magnetron sputtering at room temperature

Number of the records: 1

Title	Fabrication of low resistivity titanium nitride thin films by reactive magnetron sputtering at room temperature
Author	Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
Co-authors	Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Egyenes Fridrich SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Rosová Alica 1962 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID

Source document	Proceedings of 12th solid state surfaces and interfaces : Extended Abstract Book. P. non. - Bratislava : Comenius University, 2022 / Brunner Róbert 1954 ; Bačová Silvia 1975 ; Solid State Surfaces and Interfaces
Language	eng - English
Country	SK - Slovak Republic
Document kind	rozpis článkov z periodík (rzb)
Category	AFH - Abstracts of papers from domestic conferences
Category of document (from 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Type of document	abstrakt z podujatia
Year	2022

article

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2022

Number of the records: 1