Search results
Title Experimental and theoretical study on chemically semi-amplified resist AR-P 6200 Author Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Vutova Katia Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Tanaka Takeshi Corporation VEIT 2017. 20th International Summer School on Vacuum, Electron and Ion Technologies : Black Sea Resort Sozopol, Bulgaria : September 25-29, 2017 Source document Journal of Physics: Conference Series. Vol. 992 (2018), art. no. 012057 Category ADMB - Scientific papers in foreign non-impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2018 DOI 10.1088/1742-6596/992/1/012057 URL URL link File name Access Size Downloaded Type License Experimental and theoretical study on chemically semi-amplified resist AR-P 6200.pdf available 1.2 MB 0 Publisher's version Title Application of direct write variable shape e-beam lithography Author Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Bardošová Mária 13th European Conference on Organised Films : ECOF 13. P. P35. - Cork : Tyndall National Institute UCC, 2013 ; European Conference on Organised Films ECOF 13 Category BFA - Abstracts of scientific papers from foreign (conferences) Year 2013 Title Investigation of the high sensitive negative resist for the photomasks fabrication by e-beam lithography Author Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document Elektrotechnica & elektronica E+E. Vol. 47 (2012) no. 5-6, p. 5-9 Category ADEB - Scientific papers in other foreign journals not registered in Current Contents Connect without IF (non-impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2012 Title Nanoštruktúry pre vývoj obvodov a senzorov : príprava nanoštruktúr metódou elektrónovej litografie Title translation Nanostructures for the development of circuits and sensors : preparation of nanostructure by e-beam lithography Author Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Považan Ivo 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Hluchý Ladislav 1952- ; Kozák Štefan ; Budinská Ivana 1964- Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií : seminár. 7 p.. - Bratislava : Ústav informatiky SAV, 2012 ; Seminár Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií Category AFDB - Published papers from domestic scientific conferences Year 2012 Title Material optimization of the alignment marks for the EBDW lithography Author Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- Source document ASDAM 2010 : proceedings of the 8th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. P. 85-88. - Piscataway : IEEE, 2010 / Breza J. ; Donoval D. ; Vavrinský E. Category AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2010 DOI 10.1109/ASDAM.2010.5666341 Title Investigation of exposure parameters of e-beam resists for photomasks fabrication Author Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Sulzbach Thomas ; Rangelow I.W. PRONANO : proceedings of the Integrated Project on Massively Parallel Intelligent Cantilever Probe Platforms for Nanoscale Analysis and Synthesis. P. 99-110. - Münster : MV Wissenschaft, 2010 Category AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2010 Title Alignment marks for the EBDW lithography Author Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel S. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Vajda J. ; Weiss M. APCOM 2010 : proceedings of the 16th International Conference on Applied Physics of Condensed matter. P. 252-255. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2010 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2010 Category AED - Scientific papers in domestic peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2010 Title E-beam lithography for photomask fabrication Author Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Scharff Peter Multicantilever parallel scanning systems : proceedings: PRONANO Workshop 2009. P. 71-78. - Ilmenau : Ilmenau University of Technology, 2009 ; Internationales Wissenschaftliches Kolloquium workshop PRONANO Category AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2009 Title New progressive method suitable for the exposure optimization of large and complex defect-free chips direct written by ZBA 21 e-beam tool Author Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Partel Stefan Hudek Peter 1953- Source document / Haščík Štefan 1956 ; Osvald Jozef 1953 ASDAM 2008 : conference proceedings. P. 199-202. - Piscataway, NJ : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2008 ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Category AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2008 DOI 10.1109/ASDAM.2008.4743316 Title Overenie postupov pri priamej elektrónovej litografii s využitím justážnych značiek na čipe Author Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Issue data Bratislava : Ústav informatiky SAV , 2007 Category AGI - Reports on solved scientific and research tasks Year 2007 Project Technická správa ÚI SAV, TR-2007-25-01 - VEGA 2/6184/26