Search results
Title Work function thermal stability of RuO2-rich Ru-Si-O p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistor gate electrodes Author Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Rosová Alica 1962 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Štrbík Vladimír 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Gaži Štefan 1948 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Benko P. Harmatha L. Manke C. Baumann P.K. Source document . Vol. 103, (2008), art. no. 073702 Journal of Applied Physics Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2008 
article
Title Fixed oxide charge in Ru-based chemical vapour deposited high-? gate stacks Author Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Lupták Roman SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hušeková Kristína 1957 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Weber U. Baumann P.K. Lindner J. Source document / Gusev E.P. Defects in high-K gate dielectric stacks. P. 277-286 : nano-electronic semiconductor devices : proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on defects in Advanced High-K Dielectric Nano-electronicc Semiconductor Devices, St. Petetburg, Russia, July 11-14, 2005. - Dordrecht : Springer, 2006 Category AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2006 article
Title 2D and 3D growth of Ru/RuO2 metal layers with atomic vapour deposition Author Manke C. Co-authors Boissiere O. Weber U. Barbar G. Baumann P.K. Lindner J. Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document Microelectronic Engineering. Vol. 83, (2006), p. 2277. - Amsterdam : Elsevier Science Publishers Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2006 article
Title Properties of Ru/HfxSi1-xOy/Si metal oxide semiconductor gate stack structures grown by atomic vapor deposition Author Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Lupták Roman SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hušeková Kristína 1957 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Čičo Karol SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Weber U. Baumann P.K. Lindner J. Espinos J.P. Source document Journal of the Electrochemical Society. Vol. 153, (2006), p. F176-F179. - Penington Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2006 article
Title Low-temperature growth of RuO2 films for conductive electrode applications Author Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Cambel Vladimír 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Machajdík Daniel SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Baumann P.K. Lindner J. Schumacher M. Juergensen H. Source document . Vol. . 5 (2003), p. 173-177 Materials science in semiconductor processing Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2003 article
Title Platinum, ruthenium and ruthenium dioxide electrodes deposited by metal organic chemical vapour deposition for oxide applications Author Baumann P.K. Co-authors Doppelt P. Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Gueroudji L. Cambel Vladimír 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Machajdík Daniel SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Schumacher M. Lindner J. Schienle F. Burgess D. Strauch G. Juergensen H. Guillon H. Jimenez C. Source document Integrated Ferroelectrics. Vol. 44 (2002), p. 135-139 Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2002 article