Search results
Title Zariadenie na rovnomerné opracovanie povrchu sypkých materiálov v plazme : Patentová listina. Číslo dokumentu: 288857. Číslo prihlášky: 50071-2018. Dátum podania prihlášky: 18.12. 2018. Dátum zverejnenia prihlášky: 1.7. 2020. Vestník ÚPV SR č.: 07/2020. Dátum oznámenia o udelení patentu: 12.5. 2021. Vestník ÚPV SR č.: 09/2021. Dátum sprístupnenia patentu verejnosti: 12.4. 2021. Druh dokumentu: B6. Int. Cl.(2021.01): B01J 19/00, H01J 37/00, H05H 1/00, B65G 33/00. Majiteľ: Ústav informatiky SAV, Bratislava; Ústav polymérov SAV, Bratislava; Elektrotechnický ústav SAV, Bratislava. Zástupca: Gróf Martin, Bratislava Author Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Novák Igor 1951- SAVPOLYM - Ústav polymérov SAV Gaži Štefan 1948 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Issue data Banská Bystrica : Úrad priemyselného vlastníctva , 2021. - patentový spis č. 288857 B6, 6 s. Category AGJ - Patent applications, utility model applications, design applications, trademark applications, applications for granting supplementary protection certificate, applications for registration of topographies of semiconductor products, designations of origin applications, geographical indications of goods and products applications, breeder's certificate applications Year 2021 
book
Title Ethical challenges in nanometrology Author Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Co-authors Lubyová Martina 1967 - SAVPROG - Prognostický ústav SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document Communications. Vol. 20, no. 1 (2018), p. 131 - 136 Category ADNB - Scientific papers in domestic non-impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2018 
article
Title Silicon substrates for nanoparticle gas sensors with embedded electrodes and planar surface Author Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hofbauerová Monika Benkovičová 1985 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kotlár Mário 1976 Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Source document AIP Conference Proceedings : Applied Physics of Condensed Matter (APCOM 2018). Vol. 1996 (2018), no. 020018 Category ADMB - Scientific papers in foreign non-impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2018 DOI 10.1063/1.5048870 article
Title Study of the new CSAR62 positive tone electron-beam resist at 40 keV electron energy Author Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Vutova Katia Koleva Elena Nemec Pavel SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Mladenov Georgy Source document Journal of Physics: Conference Series. Vol. 700 (2016), art. no. 012030 Category ADMB - Scientific papers in foreign non-impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2016 DOI 10.1088/1742-6596/700/1/012030 File name Access Size Downloaded Type License Study of the new CSAR62 positive tone electron-beam resist at 40 keV electron energy.pdf available 1.8 MB 4 Publisher's version article
Title RIE plasma etching of GaAs in SiCl4 and CCl4 gases with different resists as etch masks Author Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 20th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2014. P. 312-315. - Bratislava : FEI STU, 2014 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2014 Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Year 2014 article
Title Application of direct write variable shape e-beam lithography Author Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Bardošová Mária 13th European Conference on Organised Films : ECOF 13. P. P35. - Cork : Tyndall National Institute UCC, 2013 ; European Conference on Organised Films ECOF 13 Category BFA - Abstracts of scientific papers from foreign (conferences) Year 2013 article
Title Suitability of N2 plasma for the RIE etching of thin Ag layers Author Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 19th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2013. P. 54-57. - Bratislava : Nakladateľstvo STU Bratislava, 2013 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2013 Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Year 2013 article
Title The AZ 5214E resist in EBDW lithography and its use as a RIE etch-mask in etching thin Ag layers in N2 plasma Author Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Škriniarová Jaroslava Source document Journal of Electrical Engineering. Vol. 64, no. 6 (2013), p. 371-375 Category ADNA - Scientific papers in domestic impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2013 DOI 10.2478/jee-2013-0056 article
Title Photosensitive AZ 5214E resist used for e-beam lithography applications Author Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Škriniarová Jaroslava Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 19th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2013. P. 50-53. - Bratislava : Nakladateľstvo STU Bratislava, 2013 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2013 Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Year 2013 article
Title Nanoštruktúry pre vývoj obvodov a senzorov : príprava nanoštruktúr metódou elektrónovej litografie Title translation Nanostructures for the development of circuits and sensors : preparation of nanostructure by e-beam lithography Author Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Považan Ivo 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Hluchý Ladislav 1952- ; Kozák Štefan ; Budinská Ivana 1964- Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií : seminár. 7 p.. - Bratislava : Ústav informatiky SAV, 2012 ; Seminár Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií Category AFDB - Published papers from domestic scientific conferences Year 2012 article