Search results
Title Limits to nanopatterning based on e-beam lithography Author Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Glezos N. Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- Písečný Pavol Velessiotis Dimitrios Source document Proceedings of the 20th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2014. P. 292-295. - Bratislava : FEI STU, 2014 / Vajda J. ; Jamnický I. ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2014 Category AFDA - Published papers from international scientific conferences in Slovakia Year 2014 
article
Title RIE plasma etching of GaAs in SiCl4 and CCl4 gases with different resists as etch masks Author Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 20th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2014. P. 312-315. - Bratislava : FEI STU, 2014 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2014 Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Year 2014 article
Title Application of direct write variable shape e-beam lithography Author Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Bardošová Mária 13th European Conference on Organised Films : ECOF 13. P. P35. - Cork : Tyndall National Institute UCC, 2013 ; European Conference on Organised Films ECOF 13 Category BFA - Abstracts of scientific papers from foreign (conferences) Year 2013 article
Title Suitability of N2 plasma for the RIE etching of thin Ag layers Author Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Vajda J. ; Jamnický I. Proceedings of the 19th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2013. P. 54-57. - Bratislava : Nakladateľstvo STU Bratislava, 2013 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2013 Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Year 2013 article
Title The AZ 5214E resist in EBDW lithography and its use as a RIE etch-mask in etching thin Ag layers in N2 plasma Author Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Škriniarová Jaroslava Source document Journal of Electrical Engineering. Vol. 64, no. 6 (2013), p. 371-375 Category ADNA - Scientific papers in domestic impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2013 DOI 10.2478/jee-2013-0056 article
Title Nanoštruktúry pre vývoj obvodov a senzorov : príprava nanoštruktúr metódou elektrónovej litografie Title translation Nanostructures for the development of circuits and sensors : preparation of nanostructure by e-beam lithography Author Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Čaplovič Igor 1948 SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Jablonská Viera 1965- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Považan Ivo 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Hluchý Ladislav 1952- ; Kozák Štefan ; Budinská Ivana 1964- Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií : seminár. 7 p.. - Bratislava : Ústav informatiky SAV, 2012 ; Seminár Informačné technológie na predvídanie a riešenie krízových situácií Category AFDB - Published papers from domestic scientific conferences Year 2012 article
Title Characterization of test structures for e-beam lithography for estimation of proximity exposure parameters Author Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document / Vajda J. ; Jamnický I. APCOM 2012 : proceedings on Applied Physics of Condensed Matter of the 18th International Conference. P. 141-144. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2012 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2012 Category AFDA - Published papers from international scientific conferences in Slovakia Year 2012 article
Title Micromachined membrane structures for pressure sensors based on AlGaN/GaN circular HEMT sensing device Author Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Hudek Peter 1953- Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kutiš V. Srnánek R. Choleva P. Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 98, (2012), p. 578-581 Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2012 DOI 10.1016/j.mee.2012.06.014 article
Title Fabrication process development for a high sensitive electrochemical IDA sensor Author Partel S. Co-authors Mayer M. Hudek Peter 1953- Dinçer C. Kieninger J. Urban G.A. Motzek K. Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 97 (2012), p. 235-240 Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2012 DOI 10.1016/j.mee.2012.03.028 article
Title Determination of the conduction band offset in the a-Si:H/c-Si heterojunction structures from coplanar temperature current-voltage measurements Author Mikolášek M. Co-authors Prušáková L. Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Řeháček V. Jakabovič J. Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kotlár M. Harmatha L. Source document / Pudiš D. ; Kubicova I. ; Bury P. APCOM 2011 : proceedings of the 17th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter, held in SPA Nový Smokovec, High Tatras, Slovakia, June 22-24, 2011. P. 184-187. - Žilina : University of Žilina, 2011 Category AED - Scientific papers in domestic peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2011 article