Search results
Title Limits to nanopatterning based on e-beam lithography Author Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Glezos N. Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- Písečný Pavol Velessiotis Dimitrios Source document Proceedings of the 20th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2014. P. 292-295. - Bratislava : FEI STU, 2014 / Vajda J. ; Jamnický I. ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2014 Category AFDA - Published papers from international scientific conferences in Slovakia Year 2014 
article
Title Preparation and characterization of materials layers for photonic structures Author Písečný Pavol Co-authors Chlpík J. Chovan J. Haško D. Vincze A. Hronec P. Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Uherek F. Source document / Pudiš D. ; Lettrichová I. ; Šušlik Ľ. ; Kováč Jaroslav Jr. ; Vincze A. Proceedings of ADEPT : 1st International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies. P. 258-261. - Žilina : University of Žilina, 2013 Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Year 2013 article
Title Characterization of MOS structures by conductance method Author Nemec M. Co-authors Jurkovič M. Harmatha L. Mokryš P. Weber B Písečný Pavol Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document / Vajda J. ; Weiss M. APCOM 2010 : proceedings of the 16th International Conference on Applied Physics of Condensed matter. P. 150-153. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2010 Category AED - Scientific papers in domestic peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2010 article
Title Overenie postupov pri priamej elektrónovej litografii s využitím justážnych značiek na čipe Author Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Issue data Bratislava : Ústav informatiky SAV , 2007 Category AGI - Reports on solved scientific and research tasks Year 2007 Project Technická správa ÚI SAV, TR-2007-25-01 - VEGA 2/6184/26 
book
Title The properties of oxygen plasma annealed La2O3 films for CMOS technology Author Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Harmatha L. Jakabovič J. Ťapajna Milan 1977 Lupták Roman SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Čičo Karol Action Liptovský Ján Source document Proceedings of the 13th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2007. P. 243-246. - Žilina : ŽU, 2007 / Pudiš D. ; Martinek I. ; Jamnický I. ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter Category AED - Scientific papers in domestic peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2007 article
Title Electrical characterization of MOS structures with a Ni metal gate on thin high-k dielectrics Author Harmatha L. Co-authors Benko P. Novotný I. Řeháček V. Jakabovič J. Ťapajna Milan 1977 Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document Proceedings of the 13th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2007. P. 179-182. - Žilina : ŽU, 2007 / Pudiš D. ; Martinek I. ; Jamnický I. ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter Category AED - Scientific papers in domestic peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2007 article
Title Czochralski-grown nitrogen-doped silicon: Electrical properties of MOS structures; A positron annihilation study Author Harmatha L. Co-authors Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Slugeň V. Ballo P. Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV Šik J. Kögel G. Source document Microelectronics Journal. Vol. 37 (2006), p. 283 Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2006 DOI 10.1016/j.mejo.2005.04.059 article
Title Characterization of rare earth oxides based MOSFET gate stacks prepared by metal-organic chemical vapour deposition Author Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Lupták Roman SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hušeková Kristína 1957 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Čičo Karol SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rosová Alica 1962 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lukocius M. Abrutis A. Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV Espinos J.P. Issue data Elsevier Source document Materials science in semiconductor processing. Vol. 9 (2006), p.1065-1072 Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2006 DOI 10.1016/j.mssp.2006.10.025 article
Title The effect of rapid thermal annealing on oxygen precipitation in nitrogen doped silicon substrate Author Stuchlíková Ľ. Co-authors Harmatha L. Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Ballo P. Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benkovič M. Jakabovič J. Source document ASDAM 2006. P. 43-46 : proceedings of the 6th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. - Piscataway : IEEE, 2006 / Breza J. ; Donoval D. ; Vavrinský E. Category AEC - Scientific papers in foreign peer-reviewed proceedings, monographs Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok Year 2006 article
Title Properties of Si-SiO2 Interfaces in MOS structures with nitrogen-doped silicon Author Harmatha L. Co-authors Ballo P. Breza J. Písečný Pavol SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Ťapajna Milan 1977 Source document Advances in Electrical and Electronic Engineering. Vol. 5 (2006), p. 334-336 Category ADFB - Scientific papers in other domestic journals not registered in Current Contents Connect without IF (non-impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2006 article