Search results
Title Nanostructuring of Mo/Si multilayers by means of reactive ion etching using a three-level mask Author Dreeskornfeld L. Co-authors Haindl G. Kleineberg U. Heinzmann U. Shi F. Volland B. Rangelow I.W. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kostič Ivan SAVINFO - Ústav informatiky SAV Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hsin-Yi Lee Source document Thin Solid Films. Vol. 458 ( 2004 ), p. 227-232 Category ADC Year 2004 DOI 10.1016/j.tsf.2003.09.070 
article
Title Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers- X-ray comparative study Author Anopchenko A.S. SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Co-authors Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Holý V. Aschentrup A. Kolina I. Cheon Lim Y. Haindl G. Kleineberg U. Heinzmann U. Source document Physica B : condensed matter. Vol. 305, no. 1 (2001), p. 14-20 Category ADC Year 2001 article
Title Reactive ion etching with end point detection of microstructured Mo/Si multilayers by optical emission spectroscopy Author Dreeskornfeld L. Co-authors Segler R. Haindl G. Wehmeyer O. Rahn S. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kleineberg U. Heinzmann U. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Source document Microelectronic Engineering. Vol. 54, no. 3-4 (2000), p. 303-314 Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2000 DOI 10.1016/S0167-9317(99)00449-9 article
Title Nanopatterning of Au absorber films on MO/Si EUV multilayer mirrors by STM lithography in self-assembled monolayer Author Sundermann M. Co-authors Hartwich J. Rott K. Meyners D. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kleineberg U. Grunze M. Heinzmann U. Source document Surface Science. Vol. 454, no. 1 (2000), p. 1104-1109 Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2000 article
Title Metal oxide/silicon oxide multilayer with smooth interfaces produced by in situ controlled plasma-enhanced MOCVD Author Hamelmann F. Co-authors Haindl G. Schmalhorst J. Aschentrup A. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kleineberg U. Heinzmann U. Klipp A. Jutzi P. Anopchenko A.S. SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Source document Thin Solid Films. Vol. 358 (2000), p. 90-93 Category ADC Year 2000 DOI 10.1016/S0040-6090(99)00695-1 article
Title Effect of Ion-Beam Polishing on the Interface Quality in a Ti/C Multilayer Mirror for "Water Window" Author Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Co-authors Holý V. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Senderák Rudolf 1953 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Stock H.J. Menke D. Kleineberg U. Heinzmann U. Source document Materials Science Forum. Vol. 321-324 (2000), p. 184-190 Category ADC Year 2000 article