Search results
Title Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers- X-ray comparative study Author Anopchenko A.S. SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Co-authors Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Holý V. Aschentrup A. Kolina I. Cheon Lim Y. Haindl G. Kleineberg U. Heinzmann U. Source document Physica B : condensed matter. Vol. 305, no. 1 (2001), p. 14-20 Category ADC Year 2001 
article
Title Metal oxide/silicon oxide multilayer with smooth interfaces produced by in situ controlled plasma-enhanced MOCVD Author Hamelmann F. Co-authors Haindl G. Schmalhorst J. Aschentrup A. Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Kleineberg U. Heinzmann U. Klipp A. Jutzi P. Anopchenko A.S. SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV Source document Thin Solid Films. Vol. 358 (2000), p. 90-93 Category ADC Year 2000 DOI 10.1016/S0040-6090(99)00695-1 article