Search results
Title Structuring of titanium nitride films by dry reactive ion etching Author Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Romanyuk O. Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document Proceedings of ADEPT 2023 : 11th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, held in Podbanské, High Tatras, Slovakia, June 12th – 15th, 2023. P. 150-153. - Žilina : University of Zilina in EDIS-Publishing Centre of UZ, 2023 / Jandura D. ; Lettrichová I. ; Kováč J., jr. Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok z podujatia Year 2023 
article
Title Vertical GaN transistor with semi-insulating channel Author Šichman Peter SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Stoklas Roman 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hasenöhrl Stanislav 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Gregušová Dagmar 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hashizume T. Chvála A. Šatka A. Kuzmík Ján 1960 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document Physica Status Solidi A : applications and materials science : Special Issue: Nitride Semiconductors. Vol. 220 (2023), no. SI2200776 Category ADCA - Scientific papers in foreign journals registered in Current Contents Connect with IF (impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok z podujatia Year 2023 DOI 10.1002/pssa.202200776 File name Access Size Downloaded Type License Vertical GaN Transistor with Semi-Insulating Channe.pdf Neprístupný/archív 1 MB 0 Publisher's version article
Title Hydrogen sensing characteristics of TiO2 thin films grown by atomic layer deposition using TTIP precursor with H2O vs. O3 reactants Author Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Horský Matej SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Nádaždy Peter SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vetrova Iuliia SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Predanocy Martin 1984- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Patrnčiak Michal Plecenik T. Action Nanomaterials: Applications & Properties - 2023 : IEEE NAP-2023. 2023 IEEE 13th International Conference ( 13 : September 10-15, 2023 : Bratislava, Slovakia ) Source document Nanomaterials: Applications & Properties - 2023 : 2023 IEEE 13th International Conference : IEEE NAP-2023 : Book of abstracts. P. 09nn-21, abstract ID #NN-0838. - Bratislava, Slovakia : IEEE, 2023 Category GII - Other publications and documents which is not possible to categorize into classes/categories mentioned above Category of document (from 2022) I2 - Iný výstup publikačnej činnosti ako časť publikácie alebo zborníka Type of document časti, ktoré nemožno zaradiť do kategórie V, O, P, U alebo D Year 2023 article
Title Diamond-based RF MEMS microheaters for insects behavior monitoring Author Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Tomáška M. Wu Shang-Ru Vojs M. Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Marton M. Řeháček V. Kromka A. Izsák Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Chen Yi-Hung Tsai Hung-Yin Source document Proceedings of ADEPT 2021 : 10th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, Tatranská Lomnica, High Tatras, Slovakia. P. 145-148. - Žilina : University of Zilina in EDIS-Publishing Centre of UZ, 2022 / Feiler M. ; Ziman M. ; Kováčová S. ; Kováč Jaroslav Jr. Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok z podujatia Year 2022 File name Access Size Downloaded Type License Diamond-based RF MEMS microheaters for insects behavior monitoring.pdf available 728.5 KB 3 Publisher's version article
Title Fabrication of low resistivity titanium nitride thin films by reactive magnetron sputtering at room temperature Author Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Egyenes Fridrich SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rosová Alica 1962 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document Proceedings of 12th solid state surfaces and interfaces : Extended Abstract Book. P. non. - Bratislava : Comenius University, 2022 / Brunner Róbert 1954 ; Bačová Silvia 1975 ; Solid State Surfaces and Interfaces Category AFH - Abstracts of papers from domestic conferences Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document abstrakt z podujatia Year 2022 article
Title Electrical properties of Pt/TiO2/TiN structures grown by atomic layer deposition using TTIP and water Author Horský Matej SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Nádaždy Peter SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Gregušová Dagmar 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Seifertová Alena 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dérer Ján 1948 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Ščepka Tomáš 1985 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document ASDAM 2022 : Conference Proceedings. P. 37-40. - : IEEE, 2022 / Marek Juraj ; Donoval D. ; Vavrinský E. ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Category of document (from 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Type of document príspevok z podujatia Year 2022 article
Názov Additive manufacturing in atomic layer processing mode Autor Kundrata Ivan SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Barr M.K.S. Tymek S. Döhler D. Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Brüner P. Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Precner Marián 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Yokosawa T. Spiecker E. Plakhotnyuk M. Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Bachmann J. Zdroj.dok. Small methods. (2022), no. 2101546 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2022 DOI 10.1002/smtd.202101546 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Additive Manufacturing in Atomic Layer Processing Mode.pdf Prístupný 2.2 MB 7 Vydavateľská verzia article
Názov Piezoelectric thin film pressure sensor made by atomic layer deposition of 002-oriented ZnO on Autor Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Precner Marián 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Seifertová Alena 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fedor Ján 1976 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Tóbik Jaroslav 1973 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. ASDAM 2022 : Conference Proceedings. P. 199-202. - : IEEE, 2022 / Marek Juraj ; Donoval D. ; Vavrinský E. ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok z podujatia Rok vykazovania 2022 article
Názov Interface states analysis of Al2O3/GaN MOS capacitors with semi-insulating C-doped GaN Autor Stoklas Roman 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Šichman Peter SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hasenöhrl Stanislav 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Gregušová Dagmar 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Ťapajna Milan 1977 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Hudec Boris SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kuzmík Ján 1960 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Zdroj.dok. ASDAM 2022 : Conference Proceedings. P. 15-16. - : IEEE, 2022 / Marek Juraj ; Donoval D. ; Vavrinský E. ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Kategória AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok z podujatia Rok vykazovania 2022 article
Názov Interface engineered HfO2-based 3D vertical ReRAM Autor Hudec Boris Spoluautori Wang I-T. Lai W.-L. Chang C.-C. Jančovič Peter 1990 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Fröhlich Karol 1954 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Mičušík Matej 1977- SAVPOLYM - Ústav polymérov SAV Omastová Mária 1962- SAVPOLYM - Ústav polymérov SAV Hou T.-H. Zdroj.dok. Journal of Physics D: Applied Physics. Vol. 49 (2016), no. 215102 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2016 DOI 10.1088/0022-3727/49/21/215102 Názov súboru Prístup Veľkosť Stiahnuté Typ Licence Interface engineered HfO2-based 3D vertical ReRAM.pdf Neprístupný/archív 2.2 MB 1 Vydavateľská verzia article