Search results
Title Study of the new CSAR62 positive tone electron-beam resist at 40 keV electron energy Author Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Vutova Katia Koleva Elena Nemec Pavel SAVINFO - Ústav informatiky SAV Hrkút Pavol 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Mladenov Georgy Source document Journal of Physics: Conference Series. Vol. 700 (2016), art. no. 012030 Category ADMB - Scientific papers in foreign non-impacted journals registered in Web of Sciences or Scopus Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2016 DOI 10.1088/1742-6596/700/1/012030 File name Access Size Downloaded Type License Study of the new CSAR62 positive tone electron-beam resist at 40 keV electron energy.pdf available 1.8 MB 4 Publisher's version 
article
Title Study on polymers with implementation in electron beam lithography Author Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Vutova Katia Koleva Elena Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Mladenov Georgy Source document Polymer Science : Research advances, practical applications and educational aspects. No. 1, p. 488-497. - Spain : Formatex Research Center, 2016 Category BEE - Professional papers in foreign proceedings (conference/non-conference; peer-reviewed/non-peer-reviewed) Category of document (from 2022) O2 - Odborný výstup publikačnej činnosti ako časť knižnej publikácie alebo zborníka Type of document príspevok Year 2016 article
Title Resist characteristics simulation of HSQ electron beam resist Author Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Co-authors Vutova Katia Koleva Elena Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Mladenov Georgy Source document Electrotechnica & electronica E+E. Vol. 51, no. 5-6 (2016), p. 246-250 Category ADEB - Scientific papers in other foreign journals not registered in Current Contents Connect without IF (non-impacted) Category of document (from 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Type of document článok Year 2016 article
Názov Patterning of structures by e-beam lithography and ion etching for gas sensor applications Autor Ďurina P. Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Vutova Katia Koleva Elena Mladenov Georgy Kuš P. Pleceník A. Zdroj.dok. Journal of Physics: Conference Series. Vol. 514 (2014), art. no. 012037 Kategória ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2014 DOI 10.1088/1742-6596/514/1/012037 article
Názov Study of electron beam resists: negative tone HSQ and positive tone SML300 Autor Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Koleva Elena Vutova Katia Mladenov Georgy Akcia International Conference on Electron Beam Technologies ( 11th : June 8-12, 2014 : Varna ) Zdroj.dok. Elektrotechnika i elektronika E+E : Eleventh International Conference on Electron Beam Technologies. Vol. 49 (2014) no. 5-6 Kategória ADEB - Vedecké práce v ostatných zahraničných časopisoch neimpaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2014 article
Názov Optimization of e-beam nanostructure patterning for TiO2 gas sensors fabrication Autor Ďurina P. Spoluautori Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Vutova Katia Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Koleva Elena Mladenov Georgy Kúš P. Plecenik Andrej Zdroj.dok. Eighteenth international summer school on vacuum, electron and ion technologies : VEIT 2013. PB-16. - Sozopol : Institute of Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, 2013 ; VEIT 2013 Kategória BFA - Abstrakty odborných prác zo zahraničných podujatí (konferencie...) Rok vykazovania 2014 article
Názov Optimization of e-beam nanostructure patterning for TiO2 gas sensors fabrication Autor Ďurina P. Spoluautori Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Vutova Katia Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Koleva Elena Mladenov Georgy Kúš P. Pleceník A. Zdroj.dok. / Dimitrova M. ; Ghelev Ch. Eighteenth International Summer School on Vacuum, Electron and Ion Technologies : VEIT 2013. P. 90. - Sofia : Institute of Electronics Bulgarian Academy of Sciences, 2013 ; International Summer School on Vacuum, Electron and Ion Technologies VEIT 2013 Kategória AFE - Abstrakty pozvaných príspevkov zo zahraničných konferencií Rok vykazovania 2013 article
Názov Investigations on sensitivity of electron resists Autor Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Spoluautori Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Vutova Katia Koleva Elena Mladenov Georgy Zdroj.dok. Elektrotechnica & elektronica E+E. Vol. 47 (2012) no. 5-6, p. 10-13 Kategória ADEB - Vedecké práce v ostatných zahraničných časopisoch neimpaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2012 article
Názov Nonlinear solubility behavior of polymer and oligomer resists at electron beam modification Autor Vutova Katia Spoluautori Mladenov Georgy Koleva Elena Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Tanaka Takeshi Zdroj.dok. Journal of materials science and engineering B. Vol. 1 (2011) p. 523-529 Kategória ADEA - Vedecké práce v ostatných zahraničných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2011 article
Názov Computer simulation of resist profiles at electron beam nanolithography Autor Vutova Katia Spoluautori Koleva Elena Mladenov Georgy Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV Tanaka T. Zdroj.dok. Microelectronic Engineering : an international journal of semiconductor manufacturing technology. Vol. 87, (2010), p. 1108-1111 Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2010 DOI 10.1016/j.mee.2009.11.045 article