Search results
Title The AlGaN/GaN C-HEMT diaphragm-based MEMS pressure sensor for harsh environment Author Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Držík Milan Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vallo Martin SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Kutiš V. Haško D. Srnánek R. Source document / Michalka M. ; Vincze A. ; Veselý M. 17. škola vákuovej techniky : analýza materiálov vo vákuu. Material analysis in vacuum. P. 142-145. - Bratislava : FEI STU, 2014 Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Year 2014 
article
Title Processing technology of MEMS sensors using III-N material system Author Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Co-authors Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Vojs M. Vincze A. Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Source document / Michalka M. ; Vincze A. ; Veselý M. 17. škola vákuovej techniky : analýza materiálov vo vákuu. Material analysis in vacuum. P. 39-43. - Bratislava : FEI STU, 2014 Category AFD - Published papers from domestic scientific conferences Year 2014 article