Počet záznamov: 1
Microlithography
Názov Microlithography : Science and Technology Ďalší autori Sheats James R. (Vedecký redaktor) Smith Bruce W. Vyd.údaje New York : Marcel Dekker Inc. , 1998. - 780 s. Jazyk dok. eng - angličtina Krajina US - Spojené štáty MDT 621.3815 ISBN 0-8247-9953-4 Katal.org. SAVINFO Počet ex. 1, z toho voľných 0, prezenčne 1 Druh dok. monografie kniha
Signatúra Lokácia Dislokácia Info S-26122 Ústav informatiky SAV len prezenčne
Počet záznamov: 1