Počet záznamov: 1
Introduction to microlithography
Názov Introduction to microlithography : theory, materials, and processing Ďalší autori Thompson L.F. (Vedecký redaktor) Willson C.G. (Vedecký redaktor) Bowden M.J. (Vedecký redaktor) Vyd.údaje Washington : American Chemical Society , 1983. - 363 s. Edícia ACS Symposium Series Jazyk dok. eng - angličtina Krajina US - Spojené štáty Katal.org. SAVELEK Počet ex. 1, z toho voľných 0, prezenčne 1 Druh dok. zborníky kniha
Signatúra Lokácia Dislokácia Info 8811 Elektrotechnický ústav SAV eli/309 len prezenčne
Počet záznamov: 1