Počet záznamov: 1  

Introduction to microlithography

  1. NázovIntroduction to microlithography : theory, materials, and processing
    Ďalší autori Thompson L.F. (Vedecký redaktor)
    Willson C.G. (Vedecký redaktor)
    Bowden M.J. (Vedecký redaktor)
    Vyd.údajeWashington : American Chemical Society , 1983. - 363 s.
    EdíciaACS Symposium Series
    Jazyk dok.eng - angličtina
    KrajinaUS - Spojené štáty
    Katal.org.SAVELEK
    Počet ex.1, z toho voľných 0, prezenčne 1
    Druh dok.zborníky
    kniha

    kniha

    SignatúraLokáciaDislokáciaInfo
    8811Elektrotechnický ústav SAVeli/309len prezenčne

Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.

Prijať všetkoNastavenieOdmietnuť všetko