Počet záznamov: 1
Reactive unbalanced magnetron sputtering of AIN thin films
Názov Reactive unbalanced magnetron sputtering of AIN thin films Autor Búc D. Spoluautori Hotový I. Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Červeň I. Zdroj.dok. Vacuum. Vol. 50 (1998), p. 121-123 Jazyk dok. eng - angličtina Druh dok. rozpis článkov z periodík (rbx) Ohlasy FIGUEROA, U. - SALAS, O. - OSEGUERA, J. SURFACE ENGINEERING. ISSN 0267-0844, APR 2006, vol. 22, no. 2, p. 109-120. GUO, L. - WU, H.S. INTERNATIONAL JOURNAL OF QUANTUM CHEMISTRY. ISSN 0020-7608, APR 5 2006, vol. 106, no. 5, p. 1250-1257. GUO, L. - WU, H.S. - JIN, Z.H. INTERNATIONAL JOURNAL OF QUANTUM CHEMISTRY. ISSN 0020-7608, JUN 5 2005, vol. 103, no. 3, p. 291-298. GUO, L. - WU, H.S. - JIN, Z.H. APPLIED SURFACE SCIENCE. ISSN 0169-4332, MAR 31 2005, vol. 242, no. 1-2, p. 88-96. FIGUEROA, U. - SALAS, O. - OSEGUERA, J. THIN SOLID FILMS. ISSN 0040-6090, DEC 22 2004, vol. 469-70, Sp. Iss. SI, p. 295-303. WU, H.S. - ZHANG, F.Q. - XU, X.H. - ZHANG, C.J. - JIAO, H.J. JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY A. ISSN 1089-5639, JAN 9 2003, vol. 107, no. 1, p. 204-209. KAO, K.S. - CHENG, C.C. - CHEN, Y.C. IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL. ISSN 0885-3010, MAR 2002, vol. 49, no. 3, p. 345-349. GUO, L. In INTERNATIONAL JOURNAL OF QUANTUM CHEMISTRY. ISSN 0020-7608, JUN 2007, vol. 107, no. 7, p. 1624-1631. CHENG, C.C. - KAO, K.S. - CHEN, Y.C. In SMART MATERIALS. 2001, vol. 4234, p. 328-337. NIE, Xi - QIAN, Zhao - DU, Wenzheng - LU, Zhansheng - LI, Hu - AHUJA, Rajeev - LIU, Xiangfa. Structural Evolution of AlN Nanoclusters and the Elemental Chemisorption Characteristics: Atomistic Insight. In NANOMATERIALS, 2019, vol. 9, no. 10, pp. LI, J. - REN, G.K. - CHEN, J.H. - CHEN, X.X. - WU, W.J. - LIU, Y.K. - CHEN, X.H. - SONG, J.F. - LIN, Y.H. - SHI, Y. Facilitating Complex Thin Film Deposition by Using Magnetron Sputtering: A Review. In JOM. ISSN 1047-4838, AUG 2022, vol. 74, no. 8, p. 3069-3081. Dostupné na: https://doi.org/10.1007/s11837-022-05294-0. Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 1998 
článok
rok CC IF IF Q (best) JCR Av Jour IF Perc SJR SJR Q (best) CiteScore A rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 1998 1997 0.480
Počet záznamov: 1