Počet záznamov: 1  

Effect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers- X-ray comparative study

  1. NázovEffect of substrate heating and ion beam polishing on the interface quality in Mo/Si multilayers- X-ray comparative study
    Autor Anopchenko A.S. SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV
    Spoluautori Jergel Matej 1954- SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV    SCOPUS    RID    ORCID

    Majková Eva 1950 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV    ORCID

    Luby Štefan 1941 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV

    Holý V.

    Aschentrup A.

    Kolina I.

    Cheon Lim Y.

    Haindl G.

    Kleineberg U.

    Heinzmann U.

    Zdroj.dok. Physica B : condensed matter. Vol. 305, no. 1 (2001), p. 14-20
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Druh dok.rozpis článkov z periodík (rbx)
    KategóriaADC
    Rok vykazovania2001
    článok

    článok

    rok vydaniarok metrikyIFIF Q (best)SJRSJR Q (best)
    200120000.893
Počet záznamov: 1  

  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.