Silicon trench etching multifrequency discharge reactor

Počet záznamov: 1

Názov	Silicon trench etching multifrequency discharge reactor
Autor	Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
Spoluautori	Horniaková Anna
	Huran Jozef 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID

Zdroj.dok.	Vacuum. Vol. 45, (1994), p. 915
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	UK
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rbx)
Heslá	elektrotechnika slaboprúdová
Kategória	ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
Kategória (od 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
Rok vykazovania	1994

článok

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	A

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
1994

Počet záznamov: 1