Cifrovoj interferometr dlja izmerenija ploskostnosti poluprovodnikovych šajb

Počet záznamov: 1

Názov	Cifrovoj interferometr dlja izmerenija ploskostnosti poluprovodnikovych šajb
Autor	Nyársik Ľ. SAVMER - Ústav merania SAV
Spoluautori	Burdík Karel 1958-2010 SAVMER - Ústav merania SAV
	Keppert Miroslav 1950 SAVMER - Ústav merania SAV ^SCOPUS ^RID

Zdroj.dok.	. S. 195-198 MICROELECTRONICS '90 : 7. meždunarodnaja konferencija po mikroelektronike. - Minsk : AN SSSR, 1990
Jazyk dok.	rus - ruština
Krajina	SU
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Systemat.	681.782.44
Heslá	hranolový planinterferometer * digitálna interferometria * výskum základný
Kategória	AEE - Vedecké práce v zahraničných nerecenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách
Kategória (od 2022)	O2 - Odborný výstup publikačnej činnosti ako časť knižnej publikácie alebo zborníka
Typ výstupu	príspevok
Rok vykazovania	1991

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
1990

Počet záznamov: 1