Effect of polyimide fixation on thermal performance of GaAs cantilever based MEMS

Počet záznamov: 1

Názov	Effect of polyimide fixation on thermal performance of GaAs cantilever based MEMS : 3D numerical analysis with DEETEN
Autor	Burian Eduard SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
Spoluautori	Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV

Zdroj.dok.	ASDAM 2002 : 4th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Applications. P. 13 / Breza J. ; Donoval D.. - Piscataway : IEEE, 2002
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	US - Spojené štáty
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách
Kategória (od 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Typ výstupu	príspevok
Rok vykazovania	2002

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2002

Počet záznamov: 1