TEM analysis of an additional metal-rich component at the C49-C54 transformation in Ti/Si thin films capped with TiN

Počet záznamov: 1

Názov	TEM analysis of an additional metal-rich component at the C49-C54 transformation in Ti/Si thin films capped with TiN
Autor	Maťko Igor 1963 SAVFYZIK - Fyzikálny ústav SAV ^SCOPUS ^ORCID
Spoluautori	Chenevier B.
	Chaix-Pluchery O.
	Madar R.
	La Via F.

Zdroj.dok.	Thin Solid Films. Vol. 408 (2002), p. 123-127
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rbx)
Kategória	ADC
Rok vykazovania	2002

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2002

Počet záznamov: 1