Počet záznamov: 1
Patterning of a micromechanical coplanar waveguide using a dry etching technique
Názov Patterning of a micromechanical coplanar waveguide using a dry etching technique Autor 1956 Haščík Štefan SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Spoluautori Mozolová Želmíra SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV 1951 Lalinský Tibor SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV Tomáška M. Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Zdroj.dok. . Vol. 69 (2002), p. 283-287 Vacuum Jazyk dok. eng - angličtina Krajina NL - Holandsko Druh dok. rozpis článkov z periodík (rbx) Ohlasy TIO, LY - GIBSON, AAP - DAVIS, LE - DILLON, BM - ABUELMA'ATTI, AMT. Phase shift in GaAs magnetoplasma ridged parallel-plate waveguides. In MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS. ISSN 0895-2477, 2005, vol. 46, no. 5, pp. 419-422. MIAO, JM - HARTNAGEL, HL. High-energy ion implantation: an alternative technology for micromachining three-dimensional GaAs structures. In SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL. ISSN 0924-4247, 2004, vol. 114, no. 2-3, pp. 505-509. ZHANG, Li - MA, Xingzhou - TANG, Jing - QU, Dongsheng - DING, Qingyong - SUN, Lining. Three-dimensional electrochemical microfabrication of n-GaAs using L-cystine as a scavenger. In ELECTROCHIMICA ACTA. ISSN 0013-4686, 2006, vol. 52, no. 2, pp. 630-635. ZAFAR, J. - ZAFAR, H. - GIBSON, A. A. P. - DILLON, B. M. Non-Reciprocal Magnetoplasmic Phase Shifting Structures for Satellite Sensors. In ICAST 2008: PROCEEDINGS OF 2ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCES IN SPACE TECHNOLOGIES, 2008, vol., no., pp. 42-46. KIM, J. K. - LEE, J. H. - JOO, Y. W. - PARK, Y. H. - NOH, H. S. - LEE, J. W. - PEARTON, S. J. Nonselective vertical etching of GaAs and AlGaAs/GaAs in high pressure capacitively coupled BCl3/N-2 plasmas. In CURRENT APPLIED PHYSICS. ISSN 1567-1739, 2010, vol. 10, no. 2, pp. 416-418. Kategória ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných Kategória (od 2022) V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu Typ výstupu článok Rok vykazovania 2002 Registrované v WOS Registrované v SCOPUS Registrované v CCC DOI 10.1016/S0042-207X(02)00346-9 
článok
rok CC IF IF Q (best) JCR Av Jour IF Perc SJR SJR Q (best) CiteScore A rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2002
Počet záznamov: 1