Mechanical characterization of membrane like microelectronic component

Počet záznamov: 1

Názov	Mechanical characterization of membrane like microelectronic component
Autor	Držík Milan SAVSTAV - Ústav stavebníctva a architektúry SAV
Spoluautori	Löschner H.
	Haugeneder E.
	Fallmann W.
	Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
	Rangelow I.W.
	Sarov Y.
	Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Chlpík J.

Zdroj.dok.	Microelectronic Engineering. Vol. 83, (2006), p. 1036-1042. - Amsterdam : Elsevier Science Publishers
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	NL - Holandsko
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rbx)
Ohlasy	CASAVOLA, Caterina - LAMBERTI, Luciano - PAPPALETTERE, Carmine. APPLICATIONS OF OPTICAL INTERFEROMETRY TO ENGINEERING MEASUREMENTS AT DIFFERENT SCALES. In HANDBOOK OF INTERFEROMETERS: RESEARCH, TECHNOLOGY AND APPLICATIONS, 2009, vol., no., pp. 1-93.
	CORNEZ, Didier - ELGOYHEN, Jocelyn - HUTSON, David - PERCIER, Cecile - PLISSARD, Perrine - BEGBIE, Mark - CHAEHOI, Aboubacar - KIRK, Katherine J. Electrical and optical characterisation of aluminium nitride piezoelectric films on silicon nitride membranes. In JOURNAL OF ELECTROCERAMICS. ISSN 1385-3449, 2011, vol. 27, no. 1, pp. 33-37.
Kategória	ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
Kategória (od 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
Rok vykazovania	2006
Registrované v	WOS
Registrované v	SCOPUS
DOI	10.1016/j.mee.2006.01.020

článok

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	A

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2006	2005	1.347	Q1	0.952	Q1

Počet záznamov: 1