The properties of oxygen plasma annealed La2O3 films for CMOS technology

Počet záznamov: 1

Title	The properties of oxygen plasma annealed La2O3 films for CMOS technology
Author	Písečný Pavol SAVINFO - Ústav informatiky SAV
Co-authors	Harmatha L.
	Jakabovič J.
	Ťapajna Milan 1977 ^ORCID
	Lupták Roman SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Čičo Karol

Source document	Proceedings of the 13th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter : APCOM 2007. P. 243-246. - Žilina : ŽU, 2007 / Pudiš D. ; Martinek I. ; Jamnický I. ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter
Language	eng - English
Country	SK - Slovak Republic
Document kind	rozpis článkov z periodík (rzb)
Category	AED - Scientific papers in domestic peer-reviewed proceedings, monographs
Category of document (from 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Type of document	príspevok
Year	2007

článok

Názov

The ground-level ozone concentration in beech (Fagus sylvatica L.) forests in the West Carpathian Mountains

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2007

Počet záznamov: 1