Počet záznamov: 1
New progressive method suitable for the exposure optimization of large and complex defect-free chips direct written by ZBA 21 e-beam tool
Názov New progressive method suitable for the exposure optimization of large and complex defect-free chips direct written by ZBA 21 e-beam tool Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Barák Vladislav 1948- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Hudek Peter 1953- SCOPUS RID ORCID Spoluautori Partel Stefan Zdroj.dok. / Haščík Štefan 1956 ; Osvald Jozef 1953 ASDAM 2008 : conference proceedings. P. 199-202. - Piscataway, NJ : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2008 ; International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems Jazyk dok. eng - angličtina Krajina US - Spojené štáty Druh dok. rozpis článkov z periodík (rzb) Kategória AEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách Kategória (od 2022) V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka Typ výstupu príspevok Rok vykazovania 2008 Registrované v WOS Registrované v SCOPUS DOI 10.1109/ASDAM.2008.4743316 
článok
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2008
Počet záznamov: 1