A simulation model for chemically amplified resist CAMP6

Počet záznamov: 1

Názov	A simulation model for chemically amplified resist CAMP6 : abstract book
Autor	Vutova Katia Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV ^SCOPUS ^RID ^ORCID
	Tanaka T.

Spoluautori	Koleva Elena Mladenov Georgy Kawabata Keishi
Zdroj.dok.	34th International Conference on Micro & nano Engineering : MNE 2008. -, 2008
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	GR - Grécko
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AFG - Abstrakty príspevkov zo zahraničných konferencií
Rok vykazovania	2008
DOI	10.1016/j.mee.2008.11.010

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
0

Počet záznamov: 1