Počet záznamov: 1
Preparation method of large and complex defect-free chips directly-written by ZBA 21 e-beam tool
Názov Preparation method of large and complex defect-free chips directly-written by ZBA 21 e-beam tool Autor Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Spoluautori Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Ritomský Adrian 1956- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Kostič Ivan 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Partel S. Hudek Peter 1953- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Zdroj.dok. APCOM 2009 : proceedings of the 15th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter, held in KRÚ Bystrá, Liptovský Ján, Slovak Republic, June 24-26, 2009. P. 69-72. - Žilina : University of Žilina, 2009 / Pudiš D. ; Harmatha L. ; Müllerová J. ; Jamnický I. Jazyk dok. eng - angličtina Krajina SK - Slovenská republika Druh dok. rozpis článkov z periodík (rzb) Kategória AFDB - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách Rok vykazovania 2009 
článok
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2009
Počet záznamov: 1