E-beam lithography for photomask fabrication

Počet záznamov: 1

^SCOPUS ^RID


Zdroj.dok.	/ Scharff Peter Multicantilever parallel scanning systems : proceedings: PRONANO Workshop 2009. P. 71-78. - Ilmenau : Ilmenau University of Technology, 2009 ; Internationales Wissenschaftliches Kolloquium workshop PRONANO
Jazyk dok.	eng - angličtina
Krajina	DE - Nemecko
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AEC - Vedecké práce v zahraničných recenzovaných vedeckých zborníkoch (aj konferenčných), monografiách
Kategória (od 2022)	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Typ výstupu	príspevok
Rok vykazovania	2009

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2009

Počet záznamov: 1