Počet záznamov: 1
Characterization of test structures for e-beam lithography for estimation of proximity exposure parameters
Názov Characterization of test structures for e-beam lithography for estimation of proximity exposure parameters Autor Andok Robert 1973- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID ORCID Spoluautori Benčurová Anna 1966- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Konečníková Anna 1955- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Matay Ladislav 1950- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Nemec Pavol 1975- SAVINFO - Ústav informatiky SAV SCOPUS RID Zdroj.dok. / Vajda J. ; Jamnický I. APCOM 2012 : proceedings on Applied Physics of Condensed Matter of the 18th International Conference. P. 141-144. - Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 2012 ; International Conference on Applied Physics of Condensed Matter APCOM 2012 Jazyk dok. eng - angličtina Krajina SK - Slovenská republika Druh dok. rozpis článkov z periodík (rzb) Kategória AFDA - Publikované príspevky na medzinárodných vedeckých konferenciách poriadaných v SR Rok vykazovania 2012 
článok
rok vydania rok metriky IF IF Q (best) SJR SJR Q (best) 2012
Počet záznamov: 1