Laser ablation for membrane processing of AlGaN/GaN- and micro structured ferroelectric thin film MEMS and SiC pressure sensors for extreme conditions

Počet záznamov: 1

Názov	Laser ablation for membrane processing of AlGaN/GaN- and micro structured ferroelectric thin film MEMS and SiC pressure sensors for extreme conditions
Autor	Zehetner J.
Spoluautori	Vanko Gabriel 1981 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Dzuba Jaroslav 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Rýger Ivan 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Lalinský Tibor 1951 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Benkler M.
	Lucki M.

Zdroj.dok.	Proceedings of the SPIE. Vol. 9517, (2015), 951721
Jazyk dok.	eng - angličtina
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rbx)
Ohlasy	ZHAO, Y. - ZHAO, Y.L. - WANG, L.K. Application of femtosecond laser micromachining in silicon carbide deep etching for fabricating sensitive diaphragm of high temperature pressure sensor. In SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL. ISSN 0924-4247, JUL 1 2020, vol. 309.
	WANG, Lukang - ZHAO, You - YANG, Zixuan - ZHAO, Yulong - YANG, Xinwan - GONG, Taobo - LI, Cun. Femtosecond laser micromachining in combination with ICP etching for 4H-SiC pressure sensor membranes. In CERAMICS INTERNATIONAL, 2021, vol. 47, no. 5, pp. 6397-6408. ISSN 0272-8842. Dostupné na: https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2020.10.220.
Kategória	ADMB - Vedecké práce v zahraničných neimpaktovaných časopisoch registrovaných vo WOS Core Collection alebo SCOPUS
Kategória (od 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
Rok vykazovania	2015
Registrované v	WOS
DOI	10.1117/12.2179041

článok

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	N

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2015	2014			0.237

Počet záznamov: 1