Dry etching of phosphorus doped SiC thin films prepared by PECVD technology for transmission photocathode

Počet záznamov: 1

Názov	Dry etching of phosphorus doped SiC thin films prepared by PECVD technology for transmission photocathode
Autor	Huran Jozef 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
Spoluautori	Balalykin Nikolay I.
	Haščík Štefan 1956 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Feshchenko A.A.
	Kobzev A.P.
	Sasinková Vlasta 1954- SAVCHEM - Chemický ústav SAV
	Kleinová Angela 1960- SAVPOLYM - Ústav polymérov SAV ^ORCID
	Arbet Juraj 1959 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV

Zdroj.dok.	ADEPT 2016 : Proceedings of the 4th International Conference on Advances in Electronic and Photonic Technologies, held in Tatranská Lomnica, High Tatras, Slovakia, June 20-23, 2016. P. 35-38. - Žilina : University of Žilina, 2016 / Kováč Jaroslav Jr. ; Michalka M. ; Kováčová S. ; Jandura D.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rzb)
Kategória	AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
Rok vykazovania	2016

článok

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2016

Počet záznamov: 1