Optimalization of UV-assisted wet oxidation of GaAs

Počet záznamov: 1

Názov	Optimalization of UV-assisted wet oxidation of GaAs
Autor	Gucmann Filip 1987 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
Spoluautori	Kúdela Róbert 1952 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV
	Rosová Alica 1962 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Dobročka Edmund 1955 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID
	Mičušík Matej 1977- SAVPOLYM - Ústav polymérov SAV ^ORCID
	Gregušová Dagmar 1958 SAVELEK - Elektrotechnický ústav SAV ^ORCID

Zdroj.dok.	Journal of Vacuum Science and Technology B. Vol. 36 (2017), no. 01A116, Microelectronics and Nanometer Structures
Jazyk dok.	eng - angličtina
Druh dok.	rozpis článkov z periodík (rbx)
Ohlasy	TOYOSHIMA, R. - MURAKAMI, S. - EGUCHI, S. - AMEMIYA, K. - MASE, K. - KONDOH, H. Initial oxidation of GaAs(100) under near-realistic environments revealed by in situ AP-XPS. In CHEMICAL COMMUNICATIONS. ISSN 1359-7345, DEC 7 2020, vol. 56, no. 94, p. 14905-14908.
Kategória	ADCA - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch impaktovaných
Kategória (od 2022)	V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu
Typ výstupu	článok
Rok vykazovania	2017
Registrované v	WOS
Registrované v	SCOPUS
Registrované v	CCC
DOI	10.1116/1.4974196

článok

rok	CC	IF	IF Q (best)	JCR Av Jour IF Perc	SJR	SJR Q (best)	CiteScore
	A

rok vydania	rok metriky	IF	IF Q (best)	SJR	SJR Q (best)
2017	2016	1.573	Q3	0.595	Q2

Počet záznamov: 1